技術(shù)領(lǐng)域：本發(fā)明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法，可用于微納制造，光學(xué)領(lǐng)域，電學(xué)，生物領(lǐng)域，mems領(lǐng)域，nems領(lǐng)域。技術(shù)背景：微納制造技術(shù)是衡量一個(gè)國(guó)家制造水平的重要標(biāo)志，對(duì)提高人們的生活水平，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展與經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)，保障**安全等方法發(fā)揮著重要作用，微納制造技術(shù)是微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ)。基于半導(dǎo)體制造工藝的光刻技術(shù)是**常用的手段之一。對(duì)于納米孔的加工，常用的手段是先利用曝光負(fù)性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結(jié)構(gòu)，再通過(guò)金屬的沉積和溶膠實(shí)現(xiàn)圖形反轉(zhuǎn)從而得到所需要的納米孔。然而傳統(tǒng)的方法由于光刻過(guò)程中的散焦及臨近效應(yīng)等會(huì)造成曝光后的微納結(jié)構(gòu)側(cè)壁呈現(xiàn)一定的角度(如正梯形截面)，這會(huì)造成蒸發(fā)過(guò)程中的掛壁嚴(yán)重從而使lift-off困難。同時(shí)由于我們常用的高分辨的負(fù)膠如hsq，在去膠的過(guò)程中需要用到危險(xiǎn)的氫氟酸，而氫氟酸常常會(huì)腐蝕石英，氧化硅等襯底從而影響器件性能，特別的，對(duì)于跨尺度高精度納米結(jié)構(gòu)的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰(zhàn)。剝離液可以用在什么地方；無(wú)錫京東方用的蝕刻液剝離液溶劑

使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過(guò)濾器過(guò)濾來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過(guò)濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室；若所述過(guò)濾器被所述薄膜碎屑阻塞，則關(guān)閉連接被阻塞的所述過(guò)濾器的管道上的閥門(mén)開(kāi)關(guān)；取出被阻塞的所述過(guò)濾器。在一些實(shí)施例中，所述若所述過(guò)濾器被所述薄膜碎屑阻塞，則關(guān)閉連接被阻塞的所述過(guò)濾器的管道上的閥門(mén)開(kāi)關(guān)包括：若所述過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器，則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過(guò)濾器的管道上的閥門(mén)開(kāi)關(guān)。本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)，包括：依次順序排列的多級(jí)腔室、每一級(jí)所述腔室對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱；過(guò)濾器，所述過(guò)濾器的一端設(shè)置通過(guò)管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接，所述過(guò)濾器的另一端通過(guò)第二管道與下一級(jí)腔室連接；其中，至少在所述管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門(mén)開(kāi)關(guān)開(kāi)關(guān)。通過(guò)閥門(mén)開(kāi)關(guān)控制連接每一級(jí)腔室的過(guò)濾器相互獨(dú)立，從而在過(guò)濾器被阻塞時(shí)通過(guò)閥門(mén)開(kāi)關(guān)將被堵塞的過(guò)濾器取下并不影響整體的剝離進(jìn)程，提高生產(chǎn)效率。附圖說(shuō)明為了更清楚地說(shuō)明本申請(qǐng)實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖**是本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)講。嘉興剝離液聯(lián)系方式剝離液的類(lèi)別一般有哪些。

本實(shí)用新型涉及光刻膠生產(chǎn)設(shè)備，具體是一種光刻膠廢剝離液回收裝置。背景技術(shù)：光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一，其是由溶劑、感光樹(shù)脂、光引發(fā)劑和添加劑四種成分組成的對(duì)光敏感的混合液體。在紫外光、深紫外光、電子束、離子束等光照或輻射下，進(jìn)行光化學(xué)反應(yīng)，經(jīng)曝光、顯影等過(guò)程，將所需要的微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移至待加工的襯底上，然后進(jìn)行蝕刻等工藝加工，終得到所需圖像。其中，溶劑使光刻膠具有流動(dòng)性，易揮發(fā)，對(duì)于光刻膠的化學(xué)性質(zhì)幾乎沒(méi)有影響。感光樹(shù)脂是惰性的聚合物，用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑，給予光刻膠其機(jī)械和化學(xué)性質(zhì)。光引發(fā)劑是光刻膠中的光敏成分，對(duì)光能發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)。添加劑是控制光刻膠材料特殊方面的化學(xué)物質(zhì)，用來(lái)控制和改變光刻膠材料的特定化學(xué)性質(zhì)或響應(yīng)特性。在光刻工藝中，一般步驟為勻膠—干燥—前烘--曝光—顯影—后烘—蝕刻—?jiǎng)冸x。在光刻膠剝離工序中會(huì)產(chǎn)生剝離廢液，光刻膠價(jià)格昂貴，如不對(duì)廢液中的光刻膠成分回收利用，會(huì)造成較大的資源浪費(fèi)，因此企業(yè)通常將剝離廢液中的光刻膠樹(shù)脂進(jìn)行有效回收并應(yīng)用于再生產(chǎn)中。

添加劑中含有醇醚化合物、胺化合物、緩蝕劑以及潤(rùn)濕劑；s3：將步驟s1的剝離液廢液與添加劑混合，重新制備剝離液新液，制備過(guò)程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。光刻膠剝離液為純有機(jī)溶劑體系，廢液可通過(guò)蒸餾回收80-95％有效物，得出純化液體，而在上述制備方式中，純化液體所含的組分與添加劑所含的組分之間是具有相重復(fù)的，可以認(rèn)為，添加劑是根據(jù)已知的剝離液新液的組分進(jìn)行配制的，添加劑可以是對(duì)純化液體與剝離液新液之間的組分的差別而進(jìn)行的添加、補(bǔ)充，使得純化液體和添加劑混合后，能夠具有與剝離液新液相同的組分。那么，可以知道，在預(yù)先知道剝離液新液的組分的基礎(chǔ)上，可以通過(guò)預(yù)先配制含有剝離液新液中的某些組分的添加劑，然后在制備回收的剝離液廢液得出純化液體時(shí)，可以將添加劑加入純化液體中，再進(jìn)行質(zhì)量分?jǐn)?shù)的調(diào)節(jié)。純化液體是將剝離液廢液進(jìn)行加壓、蒸餾，去除剝離液廢液中的非剝離液新液的組分的物質(zhì)，然后得出的純化液體，純化液體中所含的組分物質(zhì)，都是剝離液新液所含有的組分物質(zhì)。進(jìn)一步技術(shù)方案中，所述的步驟1中得出的純化液體中含有的酰胺化合物的質(zhì)量分為：45％-60％；含有的醇醚化合物的質(zhì)量分為：35％-50％。哪家的剝離液的價(jià)格優(yōu)惠？

用顯微鏡觀(guān)察也難以看出的程度)3：有少量殘?jiān)?：基本能剝離，但一部分殘?jiān)?：一半以上能剝離，但一部分殘?jiān)?：基本不能剝離，但一部分剝離7：不能剝離【表2】由該結(jié)果可知，在含有溶纖劑的抗蝕劑的剝離液中使用氫氧化鉀代替氫氧化鈉的本發(fā)明組成，與使用氫氧化鈉的比較組成相比，即使l/s狹窄，也能除去抗蝕劑。(3)剝離性能的評(píng)價(jià)方法將液溫設(shè)為50℃的各剝離液使用噴涂裝置向上述試驗(yàn)片實(shí)施剝離處理，將試驗(yàn)片的粘性部分的dfr以目視全部面積的90％以上被剝離的時(shí)刻作為剝離時(shí)間。另外，剝離片尺寸(長(zhǎng)邊)是采集噴涂停止后附著于設(shè)置于試驗(yàn)基板固定用的臺(tái)上的排渣用網(wǎng)眼的剝離片以目視實(shí)施的。此時(shí)的噴涂裝置的條件設(shè)為全錐噴嘴且流量5l/min、壓力。將其結(jié)果示于表3。(4)金屬的浸蝕性的評(píng)價(jià)方法利用上述評(píng)價(jià)方法實(shí)施將噴涂運(yùn)行時(shí)間固定在10分鐘的處理。其后，將基板的鍍銅部位通過(guò)電子顯微鏡(日立高新技術(shù)制：s-3400n)按照以下的評(píng)價(jià)基準(zhǔn)評(píng)價(jià)表面形狀。其結(jié)果也示于表3。<金屬浸蝕性的評(píng)價(jià)基準(zhǔn)>(分?jǐn)?shù))(內(nèi)容)1：沒(méi)有變化2：極略微有變化(用顯微鏡觀(guān)察也難以看出的程度)3：略有變化4：發(fā)生***變色【表3】剝離時(shí)間(sec)剝離片尺寸。晶圓制造用剝離液的生產(chǎn)企業(yè)有哪些；紹興配方剝離液產(chǎn)品介紹

剝離液，高效去除光刻膠，不留痕跡。無(wú)錫京東方用的蝕刻液剝離液溶劑

該方法包括：步驟110、將多級(jí)腔室順序排列，按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液；步驟120、將來(lái)自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中，所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑；步驟130、使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過(guò)濾器過(guò)濾來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過(guò)濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室；步驟140、若所述過(guò)濾器被所述薄膜碎屑阻塞，則關(guān)閉連接被阻塞的所述過(guò)濾器的管道上的閥門(mén)開(kāi)關(guān)；步驟150、取出被阻塞的所述過(guò)濾器。若過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器，則可以關(guān)閉被阻塞的子過(guò)濾器的閥門(mén)，因此，步驟140還可以包括：若所述過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器，則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過(guò)濾器的管道上的閥門(mén)開(kāi)關(guān)。在上述實(shí)施例中，對(duì)各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重，某個(gè)實(shí)施例中沒(méi)有詳述的部分，可以參見(jiàn)其他實(shí)施例的相關(guān)描述。以上對(duì)本申請(qǐng)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本申請(qǐng)的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本申請(qǐng)的技術(shù)方案及其思想；本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。無(wú)錫京東方用的蝕刻液剝離液溶劑