無錫凡華半導體科技有限公司2025-08-14
在加熱的腔室內通入 HMDS(六甲基二硅氮烷)蒸汽,通過化學反應將晶圓表面的親水性變為疏水性,保證晶圓與光刻膠的良好粘接,且蒸汽式的 HMDS 耗量少、形成的膜更薄。?
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